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                        無塵車間的凈化級別是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于規(guī)定標準的粒子數(shù)量來規(guī)定的。并非在這空間里沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的質(zhì)量上。這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們所見的灰塵是小的微乎其微，不過對于光學構(gòu)造來講，哪怕是一點點的灰塵都會有很大的影響，因此在光學構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必須的要求。例如每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。設備的維護與保養(yǎng)：1.生產(chǎn)設備的選擇和布置與保養(yǎng)， 2.要選用發(fā)塵性比較少的生產(chǎn)設備，重點注意活動部分的發(fā)塵，3真空泵等容易產(chǎn)生污染物的設備，可以設置在無塵室外面，加裝排氣管線排氣。4.設置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時，要考慮到容易清潔，不易積累污染物，5.當設備維修時易產(chǎn)生微塵粒子時，維修時避免在室內(nèi)進行，加隔離柵隔離。6.對于施工或維修時，要告知進出無塵室各項規(guī)定，工程師要在旁側(cè)監(jiān)工，生產(chǎn)用水、氣體、藥品等都是造成污染的原因，一個配備過濾裝置。

                        無塵車間的清潔打掃要在生產(chǎn)工藝結(jié)束后進行，為防止交叉污染，清掃潔凈廠房設施均應按產(chǎn)品特點、工序要求、潔凈度等級不同分別專用。 清掃工具通常采用集中固定式和便攜移動式真空清掃設備。也可采用不掉纖維的材料如絲光毛巾、尼龍布進行擦拭，每天1次以上，工作臺及工器具清掃每天一次，10～1000級廠房墻壁、地面清掃，每周一次，1萬～10萬級每月一次。凈化空調(diào)系統(tǒng)每年清洗1～2次。