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東莞無塵室所需要空調(diào)的特性
所需的外氣較多
東莞無塵室的由于半導體工廠中，制程系統(tǒng)需使用大量的化學品和毒氣，這些化學品和毒氣所產(chǎn)生的揮發(fā)氣體和廢氣必須予以全數(shù)排除，故排氣量相當大，為維持無塵室壓力比外面的大氣壓力大，此時所補充的空氣量亦隨之增加。
空調(diào)系統(tǒng)24小時全天運轉(zhuǎn)并監(jiān)控管理
半導體工廠部分制程設(shè)備，對溫溼度變化極為敏感，如黃光區(qū)Stepper光學機臺，些微的溫、溼度變化均會使設(shè)備的準度偏差，另外芯片等產(chǎn)品也必須置放在定溫定溼的環(huán)境下，故空調(diào)系統(tǒng)必須24小時監(jiān)控管理之。
半導體廠無塵室室內(nèi)壓力大小
半導體廠東莞無塵室內(nèi)壓力必須比室外高些許，除了為避免室外的溫、溼度、微粒影響無塵室生產(chǎn)區(qū)的環(huán)境條件外，并可延長無塵室ULPAfilter的壽命，但不能無條件增加，如此將使向外逸散的潔凈空氣增加而增加運轉(zhuǎn)成本。
氣流分布須均勻
東莞無塵室空調(diào)為帶走無塵室內(nèi)所產(chǎn)生的微塵粒子以維持潔凈度故除了氣流速度須達到一定之要求標準外，氣流的流線形狀也必須依不同的無塵室等級加以適當?shù)目刂啤?
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