隨著我國超大規(guī)模集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，潔凈廠房的建設(shè)越來越多，凈化級(jí)別的不斷提高，為了滿足潔凈廠房潔凈等級(jí)要求及溫濕度要求，現(xiàn)階段的潔凈廠房一般采用華夫板，利用華夫板及回風(fēng)夾道的循環(huán)且通過空調(diào)送排風(fēng)系統(tǒng)來控制潔凈廠房級(jí)別在需求范圍內(nèi)。本文以長(zhǎng)沙創(chuàng)芯華夫板施工實(shí)例來介紹華夫板施工工藝。
一 潔凈廠房的華夫板特點(diǎn)
該潔凈廠房采用定型排列的華夫桶（FRP）平整鋪設(shè)于底模板上，孔間設(shè)置交叉式密肋暗梁，經(jīng)混凝土澆筑后，形成鋼筋混凝土樓板，即華夫板。華夫板上有大量華夫桶，可提供廠房核心區(qū)（二層）與輔助層（一層）的聯(lián)絡(luò)以及作為潔凈空調(diào)的通風(fēng)道。
二 工程概況
長(zhǎng)沙創(chuàng)芯6英寸集成電路生產(chǎn)線項(xiàng)目位于長(zhǎng)沙經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)，該工程總建筑面積為43685.5平方米，芯片生產(chǎn)廠房建筑面積為36752平方米，其中B區(qū)為生產(chǎn)廠房FAB區(qū)三層，一層為技術(shù)下夾層，層高5米；二層為生產(chǎn)層，三層為靜壓箱層，均為潔凈區(qū)域。二層樓板采用華夫板，華夫板橫跨75.6米，縱跨64.8米，華夫梁250*400mm，板厚400mm，華夫桶直徑350mm，按中心間距600mm均勻布置。
三 華夫板施工工藝
施工流程
2、施工準(zhǔn)備
2.1 進(jìn)場(chǎng)前組織現(xiàn)場(chǎng)技術(shù)人員、施工人員認(rèn)真熟悉圖紙，編制正確合理的施工方案。
2.2 對(duì)現(xiàn)場(chǎng)施工人員進(jìn)行書面和口頭的技術(shù)交底。
2.3 華夫模具進(jìn)場(chǎng)前，需提交相關(guān)資料，并組織業(yè)主、監(jiān)理、設(shè)計(jì)對(duì)進(jìn)場(chǎng)材料進(jìn)行驗(yàn)收，驗(yàn)收合格后方可施工。
2.4 每一道工序施工前需進(jìn)行樣品試驗(yàn)，并組織業(yè)主、監(jiān)理、設(shè)計(jì)驗(yàn)收，全部同意后方可繼續(xù)施工。
3、施工工藝及注意事項(xiàng)
3.1 滿堂腳手架搭設(shè)
1.滿堂架的布置應(yīng)水平并固定結(jié)實(shí)。
2.滿堂架的跨距和間距應(yīng)根據(jù)實(shí)際荷載經(jīng)設(shè)計(jì)確定，間距不宜大于1.2m。
3.滿堂架立桿底部應(yīng)有墊塊。
3.2 鋪設(shè)建筑模板
1.華夫板底模安裝需新木模板，模板表面平整，平整度≤1mm。
2.模板需水平校正水平，并固定，拼接縫需齊整,安裝完畢后進(jìn)行復(fù)測(cè)，整體≤1.5mm。3.模板安裝完成后，表面要保持清潔。
3.3 彈基準(zhǔn)線
1.依照設(shè)計(jì)圖紙，確定基準(zhǔn)線，對(duì)華夫桶及華夫梁進(jìn)行定位放線。
2.基準(zhǔn)線應(yīng)準(zhǔn)確，保證誤差小于2mm。
3.施工過程中注意保護(hù)基準(zhǔn)線，避免因磨損，產(chǎn)生誤差。
3.4 華夫模具底蓋安裝
依照已定位的基準(zhǔn)線，利用350*350*100mm直角木板外邊平華夫梁基準(zhǔn)線，將底蓋頂住直角內(nèi)側(cè)，并用普通螺絲固定。
3.5 華夫梁安裝
1.華夫梁鋼筋依據(jù)已定位基準(zhǔn)線擺放，軸線偏差不大于8mm，鋼筋綁扎應(yīng)牢固。
2.華夫梁鋼筋綁扎垂直高度不能高于華夫桶高度。
3.華夫梁電焊接時(shí)，應(yīng)注意火花的防護(hù)，焊接完畢后應(yīng)及時(shí)清理焊渣。
4.華夫梁安裝完畢后需及時(shí)對(duì)底板進(jìn)行清理。
3.6 華夫模具安裝及固定
1.華夫桶底圈安裝應(yīng)牢固，不得隨意晃動(dòng)。
2.華夫桶依照底圈進(jìn)行放置，注意輕拿輕放，放置前需對(duì)桶進(jìn)行檢查，變形的桶不能使用。
3.放置桶后注意內(nèi)壁的清潔保護(hù)及桶的防變形保護(hù)。
4.華夫桶安裝完成后，應(yīng)及時(shí)蓋上頂蓋。
5.頂蓋安裝完成后，需用螺桿對(duì)底蓋與頂蓋固定連接。
3.7 華夫模具密封
1.華夫桶安裝完成后，應(yīng)對(duì)華夫桶進(jìn)行密封處理。
2.桶與頂蓋的縫隙、頂蓋與螺桿的縫隙需密封，可以使用普通透明膠帶。
3.8 華夫板混凝土澆筑
1.華夫板厚度為400mm。
2.華夫板澆筑以后澆帶為界，一塊一塊進(jìn)行澆筑，且澆筑時(shí)從一側(cè)向另一側(cè)依次進(jìn)行澆筑，一次對(duì)一塊全部澆筑完成。
3.將標(biāo)高+5.4m設(shè)置在柱鋼筋上，控制整體平整度；且桶高平板頂高，并已桶頂為澆筑標(biāo)高控制平整度。
4.混凝土振搗時(shí)，振搗是應(yīng)采用快插慢拔，振搗均勻，使上下層混凝土緊密結(jié)合，每次振搗，應(yīng)振搗至混凝土停止下沉且不再冒氣泡并泛出水泥砂漿為止，不宜過振。
3.9 華夫板收光及養(yǎng)護(hù)
1.找平采用人工操作，找平分粗平和精平，粗平采用2m刮尺控制標(biāo)高和管帽刮平，再用木抹子壓實(shí)，剔除表面骨料；精平采用2m刮尺進(jìn)行精平。
2.應(yīng)后續(xù)環(huán)氧施工要求，表面應(yīng)收光。本次施工采用磨光機(jī)收光，邊角采用人工收光。收光應(yīng)在初凝末開始，收光時(shí)應(yīng)均勻，防止因不均產(chǎn)生高差。
3.混凝土澆筑完成后鋪設(shè)土工布并對(duì)華夫板定期進(jìn)行澆水養(yǎng)護(hù)。
4.澆水養(yǎng)護(hù)完成后對(duì)華夫板進(jìn)行成品保護(hù)，上滿鋪木板，以免后續(xù)施工對(duì)表面損壞。
3.10 模板及滿堂腳手架拆除
1.確認(rèn)混凝土達(dá)到設(shè)計(jì)強(qiáng)度后再施工。
2.拆除時(shí)不能損傷或劃傷華夫桶表面。
3.清理底模時(shí)應(yīng)徹底，不能有殘?jiān)?/span>
4.拆除華夫桶底蓋、底圈、螺桿、頂蓋。
3.11 華夫板清理
1. 待拆除完成后，清除漏漿部分的殘?jiān)突役E，清除殘?jiān)突役E的時(shí)候不能損傷華夫板表面。
2.采用干凈水清洗華夫板上下表面，將表面的混凝土余漿、污漬清洗干凈。
3.對(duì)于華夫桶內(nèi)部，用柔軟棉布擦拭干凈。
4.對(duì)于華夫桶有損壞的情況，嚴(yán)重的需更換處理，輕微的可后續(xù)環(huán)氧進(jìn)行修補(bǔ)。
四 總結(jié)
華夫板的施工需嚴(yán)格按照規(guī)范進(jìn)行施工，不管是從技術(shù)上，還是從質(zhì)量上需嚴(yán)格把關(guān)，并以滿足潔凈廠房的要求為出發(fā)點(diǎn)，最終建造一個(gè)合格的潔凈廠房。
