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                無塵室的照明原理是提供可見度，它與空氣供應(yīng)系統(tǒng)和降低污染相協(xié)調(diào)的正確照明度，是無塵室設(shè)計結(jié)構(gòu)中不可或缺的組成部分。無塵室的照明會根據(jù)室內(nèi)的使用，等級的分類和天花板上空氣供應(yīng)的結(jié)構(gòu)而發(fā)生改變，照明系統(tǒng)一定要提供良好的能見度，將污染控制把電磁場的產(chǎn)生與潔凈度的設(shè)計考慮進去。

                對于無塵室的構(gòu)造來講，照明燈具的成本不會超過總預(yù)算的1%，而照明的能源成本與無塵室的hvac以及制程設(shè)備的功率需要相比較可以說是很小的，因此無塵室的照明焦點便變成適當(dāng)?shù)恼彰鞫?，與空氣供應(yīng)系統(tǒng)相互協(xié)調(diào)，同時對安裝在該空間內(nèi)特定的環(huán)境與制程的污染降低。很多無塵室的表面具有很高的反射性，大部分的天花板，墻面，地板表面均光鮮亮麗，盡管這樣，材料顏色的選擇仍在考察中，便于改善使用者的環(huán)境。在無塵室的設(shè)計結(jié)構(gòu)中，照明系統(tǒng)使用常見的是熒光燈，因其能源效率高，使用壽命長，維護成本低，經(jīng)常使用到。熒光燈在紫外線光譜內(nèi)產(chǎn)生一定能量，對于一些無塵室內(nèi)的制程是有害的，過濾UV可以使用燈罩遮蔽，但是這種遮蔽會轉(zhuǎn)換成可見光至黃色，雖然這種遮蔽僅能降低10%到20%照明度，但由于顏色的偏差，所察覺到的照明度看起來比較少。照明燈內(nèi)需要安定器來來產(chǎn)生燈泡所需要的啟動電壓與操作電流，使用在安定器的技術(shù)為電磁式和電子式。等某一空間需要過濾器與照明時，可以將嵌入式燈具與hepa空氣過濾器合并在一起，這種器具經(jīng)常使用在小型且已預(yù)制好的無塵室內(nèi)，這種器具為嵌入式，有開放的頂部和一個替代燈罩的巧克力制百葉，同時用于作為照明照明燈具與空氣輸送模塊。為了防止天花板上照明與空氣過濾器空間需求的沖突，同時作為淚滴型燈具的變通方式，制造業(yè)已發(fā)展出模塊式的天花板系統(tǒng)，具有內(nèi)建在格架通道內(nèi)的整合照明，這些系統(tǒng)允許層流氣流不受到影響。污染控制是無塵室設(shè)計結(jié)構(gòu)的主要目標(biāo)，任何帶有進入無塵室的潛在污染源要嚴(yán)格清除使其控制在一定范圍內(nèi)，照明燈具要進行污染評估檢測。